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传感器技术的发展——深圳新世联传感器
更新时间:2013-06-27 14:39:10
下载资料应用介绍
五、传感器技术的发展
传感器技术所涉及的知识非常广泛,渗透到各个学科领域,但是它们的共性是利用物理 定律和物质的物理、化学和生物特件,将非电量转换成电量。所以,如何采用新技术、新工艺、新材料以及探索新理论达到高质量的转换,是总的发展途径。
当前,传感器技术的主要发展动向:一是开展基础研究,发现新现象.开发传感器的新材料和新工艺;二是实现传感器的集成化与智能化。
(―>发现新现象
利用物理现象、化学反应和生物效应是各种传感器工作的基本原理,所以发现新现象与 新效应是发展传感器技术的重要工作,是研究新型传感器的很要堪础,其意义极为深远。例 如,日本夏普公司利用超导技术研制成功尚温超好磁传感器,是传感器技术的重大突破,其 灵敏度比霍尔传感器高,仅次于超导量子干涉器件。其制造工艺远比超导量子干涉器件简 单,它可用于磁成像技术,具有广泛推广价值。
(二)开发新材料
传感器材料是传感器技术的重要基础,由于材料科学的进步,人们在制造时,可任总控 制它们的成分,从而设计制造出用于各种传感器的功能材料,例如,半导体氧化物可以制造 各种气体传感器,而陶瓷传感器工作温度远高于半导体,光导纤维的应用是传感器材料的进 大突破,用它研制的传感器与传统的相比有突出的特点。有机材料作为传感器材料的研究, 引起国内外学者的极大兴趣。
(三)采用微细加工技术
半导体技术中的加工方法,如氧化、光刻、扩散、沉积、平面电子工艺、各向异性腐浊 以及蒸镀、溅射薄膜工艺都可用于传感器制造,因而对制造出各式各样的新型传感器。例 如,利用半导体技术制造出压阻式传感器,利用薄膜工艺制造出快逨响应的气敏、湿敏传感器o