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光栅式位移传感器 - 新世联传感器

更新时间:2013-07-03 14:34:48

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应用介绍

以下是引用片段:

工作原理 光栅式位移传感器是一种应用比较广泛的位移测量元件。它主要由主光栅(称标尺光栅)、指示光栅和光路系统组放,如图1.8.1所示。 图中主光栅为透射光它是一块长条形的光学玻璃,上面 均匀地刻有许多线纹,形成明暗交替的线条。指示光栅4比 主光栅短得多,上面刻有同样密度的线条。两块光栅平行安 放,并使它们的刻线互相倾斜一个很小的角度θ、这时在指 示光栅上就出现n条较粗的明暗条纹,称为英尔条纹。条纹 方向与刻线方向垂直,又称横向英尔条纹•见图1.8.2。如果 使主光栅沿刻线垂直方向移动,英尔条纹就沿夹角θ平分线 的方向移动;主光栅移动方向改变时,英尔条纹也相应改变

位移传感器
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