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激光式位移传感器 - 新世联传感器

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更新日期:  2013-7-5 14:44:47
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   应用简介:

以下是引用片段:

工作原理 利用激光的相干性,以激光波长为基准,测量干涉条纹的变化来达到测位移的目的。主要装置为迈克尔逊干涉仪。其工 作原理如图1.15.1所示。图中A为激光器。 它作为光源,产生一沄波长的激光,经透镜组成的准直系统后,投射到分束器C上。一部分透过C入射到反射镜M2并被反射 镜M2反射后,经C再次反射,投射光电接 收器B;另一部分经C反射到反射镜M1再被M1反射后也入射到B上。因而投射到B上的两束光产生干涉,由光电接收器B接收到最大峰值的干涉条纹,并经B转换为电 脉冲信号。由于M2固定在被测物E上,而E可以左右移动,当E发生移动时,干涉条纹产生位移,光电接收器接收到的光强发生变化,使电脉冲个数发生变化,因此经计数系统计数后,便可知对应的位移变化。图中DM2的虚像。

设激光光强为I0,分束器的反射系数和透射系数都为1/2,则光电接收器接收到的总光……

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