§2.3.1 屯感式

在长度、厚度测量中，其传感器常用差动电感式或螺管形差动变压器式（LVDT）位移传感器配以相应的机械连接部分构成，整个机抅的max测量范围在2米以内。一般常用差动电感式或螺管形差动变压器式传感器制成数字式电子千分表，max分辨力可达0.01微米，量程1毫米至百余毫米；数字式电子千分卡尺，max分辨力为0.1微米，max量程数百毫米。 电子千分表(或电子千分卡尺）与机械式的相比，其优点是能数字显示，消除人眼读数时的观 察误差，精度高，可输出至微型计箅机进行数据处理；缺点是价格较机械式的千分表（或千 分卡尺）昂资。

在厚度测量中，其传感器可用两个差动电感式或螺管形差动变压器式位移传感器组成。 测量时将两个位移传感器安装在被测厚度的正面和反面，把正、反面的测量读数（或两者读数的变化），经过电子线路(或微型计箅机）换算，彼此相减，即可得到所測的厚度值或厚度

的变化值。

有关差动电感式及螺管差动变压器式位移传感器的工作原理及结构，在第一章中已叙述， 在此不再赘述。

§2.3.2 电涡流式

工作原理  电涡流式测厚有反射式和透射式两类，其原理分述如下。 1.反射式电涡流测厚

利用电涡流式位移传感器测量金属板的厚度是电涡流式传感器的主要应用之一。图2.3.1