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解决方案与产品应用
半导体应变片虽具有体积小、灵敏度高等优点
更新时间:2014-05-12 17:29:58
下载资料应用介绍
以下是引用片段: 半导体应变片虽具有体积小、灵敏度高等优点,但其温度系数太大,且应变时非线性严 重。随着新材料、新工艺的发展,人们选用晶体(硅、错、蓝宝石、石英等)材料,采用微 电子技术和微细加工技术研制出了新型的半导体应变式传感器一一压阻式传感器. 这种传感器 2. 5.1 压阻式传感榻的结构与工作原理 压阻式传感器是用集成电路工艺技术,在硅片上制造出四个等值的薄膜电阻,并组成电 桥电路。当不受力作用时,电桥处于平衡状态,无电压输出z 当受到力作用时,电桥失去平…… |