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解决方案与产品应用
压阻式传感器半导体应变计
更新时间：2014-08-29 15:18:19
下载资料应用介绍
2. 2.1 半导体应变计
半导体应变片的工作原理是基于半导体晶体材料的电阻率随作用应力而变化的所
谓“压阻效应”。所有材料在某种程度上都呈现压阻效应,但半导体材料的这种效应特
别显著，能直接反映出微小的应变。半导体压阻效应可解释为:由应变引起能带变形,从
而使能带中的载流子迁移率及浓度也相应地发生相对变化。因此导致电阻率变化，进而
引起电阻变化。
半导体应变计应用较普遍的有体型、薄膜型、扩散型、外延型等。
体型半导体应变计是将晶片按一定取向切片、研磨、再切割成细条,粘貼于基片上制
作而成。几种体型半导体应变计示意图如图2 - 33所示。
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