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解决方案与产品应用
压阻传感器的应用
更新时间:2014-09-02 23:17:15
下载资料应用介绍
2.4 压阻传感器的应用
1.压阻式压力传感器
压力传感器主要由三部分组成:感压部分,直接承受被测应力;转换部分,
将待测应力转 换为电信号;激励部分,外加的激励电源,在硅弹性膜片上,用半
导体器件制造技术在确定 晶向上制作相同的四个感压电阻,将它们连接成惠斯登
电桥,接上外加电源,就构成了基本 的压力传感器。
图2 - 37所示为硅压阻式压力传感器结构图,主要由外壳、硅膜片及引线等绀成,
其核心部分是一块圆形膜片,在膜片上利用集成电路的成形工艺方法设置了四个
阻值相同的电阻,构成平衡电桥的四个桥臂。膜片的四周用一圆环(硅环)固定,如
图2-38所示。膜片的 两边有两个压力腔:一个是和被测系统相连接的高压腔;另
一个是低压腔,通常与大气相通。
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