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电容式差压传感器

更新时间:2014-09-26 14:47:14

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应用介绍

文摘:

图4-14是电容式差压传感器结构示意图。这种传感器结构简单、灵敏度
高、响应速度快(约100ms)、能测微小压差(0〜0.75 Pa)。它是由两个
玻璃圆盘和一个金厲(不锈钢)膜片组成。两玻璃圆盘上的凹面深约25
mm,其上镀金属以作为电容式 传感器的两个固定极板,而夹在两凹圆
盘中的膜片则为传感器的可动电极,则形成传感器的两个差动电容C1、
C2。当两边压力p1、p2相等时。膜片处在中间位置与左、右固定电容间距
相等,因此两个电容相等……