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解决方案与产品应用
11.3.2半导体电阻型气敏器件
更新时间：2014-12-11 16:25:16
下载资料应用介绍
| 文摘： tag:湿度传感器 电阻型半导体气敏元件的敏感部分是金属氧化物半导体微结晶粒 子烧结体，它是由以 金属氧化物为基体材料，添加不同物质在高 温下绕结而成的,在烧结体的内部还装有測定电 阻的电极。由于半 导体材料的特殊性质,气体在半导体材料顆粒表面的吸附可导致材 料载子浓度发生相应的变化,从而改变半导体元件的电导率，气敏 元件电阻值的变化是伴随着金属氧化物半导体表面对气体的吸附 及释放而发生的。为了加速这种反应,通常在气敏元件中设置有加 热器。加热器一般为加热丝结构，有的直接烧结在金属氧化物烧 结体内,有 的则放在烧结体的外部。在气敏元件的外部还装有不锈 钢丝网罩对元件进行保护。用半导 体气敏元件组成的气敏传感器 主要用于工业上,如天然气、煤气、石油化工等部门的易燃、易 爆、 有毒、有害气体的监测、预报和自动控制。 |
