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11. 3. 3 非电阻控制型半导体气敏器件

更新时间:2014-12-12 16:28:00

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应用介绍

以下是引用片段:

tag:湿度传感器

除了上述的电阻控制型半导体气敏器件,目前还有一种非电阻控制型半导
体气敏器件。 这类器件虽然还未广泛应用,但由于可以利用半导体平面
工艺,能做出小型、集成化、重复性、互换性和稳定性都很好的半导体气
敏器件,受到日益里视。

1. 二极管气敏器件

当金属和半导体接触形成肖特基势垒时构成金属半导体二极管。在这种金属
半导体二 极管附加正偏压时,从半导体流向金属的电子流将增加;如釆附加
负偏压时,从金属流向半 导体的电子流几乎没有变化,这种现象称为二极管
的整流作用。如果在二极管的金属与半 导体的界面吸附有气体且这种气体
对半导体的禁带宽度有影响,则二极管的整流特性就会 发生变化,根据这个原理
就可以制作气敏传感器。