产品大类

解决方案与产品应用

11.3.5 纳米技术及MEMS技术在半导体气体传感器中的应用

更新时间:2014-12-15 15:52:39

下载资料

应用介绍

文摘:

半导体陶瓷气体传感器具有灵敏度高。结构简单、价格便宜等优点,
得到了迅速发展,有相当数量的产品,至今已成为一大体系,但这类
传感器存在着如下缺点,①选择性差、灵敏度和稍度低、稳定性不高;
②需要加热控温装置,增加了传感器的体积、功耗和复杂度; ③不
便用现行的微电子工艺制作,不利于信号处理电路的集成,这些都妨
碍了它的应用。 过去通过掺杂催化剂、控制工作温度、利用过滤分
子筛等手段,取得了相当大的成功,但终究 没有彻底解决这些问题。
因此,研制易于集成和批最生产、体积小、无须加热、功粍低、可检
测多种有机气体的新型气体传感器,具有现实意义,纳米技术在半导
体陶瓷气体传感器中 的应用,给这类传感器带来了希望,并取得了
极大的进步。


         tag:湿度传感器