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MEMS技术核心芯片级热膜式微小流量检测流量传感器AFE-01 - 点击查看大图
  产品名称:MEMS技术核心芯片级热膜式微小流量检测流量传感器AFE-01
  产品型号:
  产品品牌:英国SST
  所属分类:气体质量流量传感器
  供货信息:
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MEMS技术核心芯片级热膜式微小流量检测流量传感器AFE-01详细介绍:

名称:MEMS技术核心芯片级热膜式微小流量检测流量传感器AFE-01

品牌:SST

AFE-01由四个铂金薄膜电阻构成。阻抗低,加热区面积小。加热器左右两边各一个高阻抗电阻,用来检测流速和流向。还有一个电阻用来检测气体的温度。靠近加热元件的两个电阻连接成一个电桥。产生检测流速和流向功能的一个输出信号。没有流量的情况下,这两个电阻达到同样的加热状态。当有流量存在时,其中一个电阻的温度比另一个低很多,具体哪个电阻温度变低由流向决定。温度差可以测量得到,由流速和流向决定。流量传感器的加热时间和响应时间非常短,因为它的热质量小。这种方式可以检测到非常微小的流速变化。为了得到更高的流动速度,温度传感器可以与恒温风速仪相连接。

优势

1、流向检测

2、检测小质量物体的流动

3、简单的信号处理电路和标定

4、完全固定的机械元件

5、优异的重复性

6、优异的长期稳定性

7、适用于多种行业或安装到不同外壳

8、最优的性价比

应用

1差压传感器

2HVAC和楼宇控制方案

3、医疗设备

4、汽车行业

5、设备检测

技术指标

测量原理:热量原理

检测量程:0 ... 50 m/s (以CTA模式的电路为例)

灵敏度:0.001 m/s

 度:< 2%测量值(取决于电路和标定)

响应时间:T63% < 0.5 S

温度范围:-20…… +150 °C

电气连接:绝缘漆包铜线 (一般长度25 mm)

加热元件:RH (25°C) = 34 ± 10%

检测元件:Rs_i (25°C) = 425  ± 10%

参考元件:RR (25°C) = 710  ± 10%

供电电压:一般为 …… 5 V(取决于气体流速)

基片材料:低热导陶瓷


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MEMS技术核心芯片级热膜式微小流量检测流量传感器AFE-01PDF资料:http://www.apollounion.com/Upload/DownFiles/SST-Flow-Sensor.pdf